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搜索关键词:等离子刻蚀机

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  • [公司新闻] 什么公司会用到等离子刻蚀机?

    从某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等
    发布时间:2018-01-03   点击次数:80

  • [公司新闻] 等离子刻蚀机的缺点?

    1、硅片水平运行,机片高(等离子刻蚀去PSG槽式浸泡甩干,硅片受冲击小);2、下料吸笔易污染硅片(等离子刻蚀去PSG后甩干);3、传动滚抽易变形(PVDF,PP材质且水平放置易变形);4、成本高(化学品刻蚀代替等离子刻蚀成本增加)。此外,
    发布时间:2018-04-28   点击次数:71

  • [行业新闻] 等离子刻蚀机的工作原理和注意事项

    工作原理平面刻蚀是在两块平面电极之间进行刻蚀,它与常见的感应耦合等离子体(ICP)不同,是通过高压线圈产生的。我们的SCE系列铝制反应舱等离子体系统是该领域最新的产品。等离子刻蚀机的注意事项#.在设备工作时,禁止扶、靠设备,禁
    发布时间:2018-01-02   点击次数:297

  • [行业新闻] 什么公司会用到等离子刻蚀机

    从某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等
    发布时间:2018-02-01   点击次数:75

  • [行业新闻] 等离子刻蚀机的典型应用包括哪些?

    等离子体处理可应用于所有的基材,甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗,等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低,因此,低压等离子体也能处理敏感性材料。等离子刻蚀机的典型应用包括:等离子体清除浮渣光阻材
    发布时间:2018-08-04   点击次数:86

  • [行业新闻] 制作太阳能电池中的等离子刻蚀机的工作原理是怎么样的

    太阳能电池发电原理:太阳能电池是一对光有响应并能将光能转换成电力的器件。能产生光伏效应的材料有许多种,如:单晶硅,多晶硅,非晶硅,砷化镓,硒铟铜等。它们的发电原理基本相同,现以晶体为例描述光发电过程。P型晶体硅经过掺杂磷可得N型
    发布时间:2018-02-01   点击次数:68

  • [行业新闻] 带RIE等离子刻蚀机处理模式介绍

      带RIE等离子刻蚀机是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合
    发布时间:2018-03-31   点击次数:66

  • [技术知识] 等离子刻蚀机在PCB线路板行业去胶渣制程的应用

    等离子刻蚀机在PCB线路板行业去胶渣制程的应用等离子体又叫做电浆,是由有些电子被掠夺后的原子及原子被电离后发生的正负电子构成的离子化气体状物质,也有称其为物质的第四相态。等离子体相态是因为原子中激化的电子和分子无序运动的状况,所
    发布时间:2018-09-15   点击次数:77

  • [技术知识] 等离子刻蚀机的应用

    等离子体处理可应用于所有的基材,甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗,等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低,因此,低压等离子体也能处理敏感性材料。等离子刻蚀机的典型应用包括:等离子体清除浮渣光阻材
    发布时间:2018-01-04   点击次数:55

  • [技术知识] 等离子刻蚀机通常有几种形式?

    等离子刻蚀机通常有三种形式:等离子体刻蚀、离子轰击和两种形式的结合反应离子刻蚀(ReactiveIonEtching),下表给出三种刻蚀的特点对照。离子轰击顾名思义是利用高能量惰性气体离子轰击硅片表面,达到溅射刻蚀的作用。因为采用这种方
    发布时间:2018-02-01   点击次数:68

  • [技术知识] 等离子刻蚀机的等离子刻蚀的测量与控制

    由于等离子刻蚀机工艺中的过程变量,如刻蚀率、气压、温度、等离子阻抗,等等,不易测量,虚拟测量(VirtualMetrology)光谱测量(Opticalemissionspectroscopy)等离子阻抗监控(Plasmaimpe
    发布时间:2018-02-01   点击次数:64

  • [技术知识] 带RIE等离子刻蚀机处理模式介绍

      带RIE等离子刻蚀机是干法刻蚀中zui常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀
    发布时间:2018-09-30   点击次数:123