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昆山Lam TCP 9600
昆山Lam TCP 9600
所属分类：昆山等离子体刻蚀机Plasma etcher
- 点击次数：
- 发布日期：2020/06/16
- 在线询价
详细介绍
Lam 9600 configuration information：
1.configured 8" wafer
2.TCP Etch source for metal etching
3.DSQ Module for resist strip
4.ESC with He cooling
5.Edwards STP-H1000C Turbo pump
6.AE RFG1250 RF generator
7.Classic software
8.Optical End point detection
9.Gas lines with Unit MFC
10.BCl3 200sccm
11.Cl2 100sccm
12.N2 20 sccm
13.Ar 100sccm
14.BCl3 50sccm
15.O2 500sccm
16.CF4 100sccm
17.O2 2L
18.M&W Chiller
19.3x Ebara A30 Dry pumps
相关标签：PlasmaetcherLamTCP9600price,LamTCP9600wholesale化学气相沉积,LamTCP9600价格,LamTCP9600批发
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