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Nissin Exceed 3000AH medium current implanter
Nissin Exceed 3000AH medium current implanter
所属分类：注入机Implanter
- 点击次数：
- 发布日期：2020/07/07
- 在线询价
详细介绍
Nissin Exceed 3000AH medium current implanter configuration information：
1.Currently configured for 300mm wafer
2.S/N: F01653, F01655, F01659
3.Vintage: 2005
4.B+ 5-250keV, B++ -500keV
5.P+ 5-250keV, P++ -500keV
6.AS+ 5-180keV, As++ -400keV
7.In+ 10-120keV, In++ -400keV
8.Tile angle 0-60deg. twist angle 0-359 deg
9.Plasma Flood Gun(RF)
