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Suss ACS300+ coater/developer
Suss ACS300+ coater/developer
所属分类：黄光Lithography
- 点击次数：
- 发布日期：2020/07/06
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详细介绍
Suss ACS300+ coater/developer configuration information：
1.wafer size:300mm
2.Vintage: 2005
3.4x FOUPs
4.2 coater modules(three resist lines)
5.2 developer modules(two developer lines)
6.4x Hotplates, 2x PI Hotplates, 3xCoolplates
7.Chemical supply cabinet with autoswitch
8.Missing hard drive, 3x Cybor resist pumps, 1x developer module spin motor
