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Lam TCP 9400

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Lam TCP 9400

  • 所属分类:等离子体刻蚀机

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/02/05
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详细介绍

Lam TCP 9400

Lam 9400 配置信息:

Lam9400SE Poly etcher, 6‘‘

Classic software

Cassette to cassette wafer transport

ESC Chuck

8 gas lines: O2/N2/SF6,HBr,CF4,Cl2, HE/O2

Top RF: AE 1250RF generator 

Bottom RF: AE RFE 1250Mini

Seiko Seiki STP turbo pump

Acid exhaust

Monochromator/dual wavelength EPD system

QDP80+QMB500 dry pumps for main chamber

QDP40 dry pump for loaklock

Chiller


相关标签:等离子体刻蚀机,LamTCP9400价格,LamTCP9400批发

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