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CHA Mark40 Evaporator

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CHA Mark40 Evaporator

  • 所属分类:蒸发溅射台

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/02/05
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详细介绍

CHA Mark40 Evaporator

CHA Mark40配置:

 CHA SR-10 power supply

ASC-CRYOGENICS 600 Cryo compressor

 Pumps:

EBARA A10 vacuum pump

Cryo pump

 

Heater and heater power supply: 480V, 3 phase

Rotating dome

Currently tooled for 3"

2" dome with extra shields

6-pocket E-gun for metals (4 pockets being used – Ti, Cr, Ni, Au).


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