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AG4100

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AG4100

  • 所属分类:快速退火炉

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/02/05
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详细介绍

AG4100

AG4100: 6’’ wafer with robot arm and two cassette station

IR lamp heated chamber

Ramp-up rate: 10~250 C per second

Steady state duration: 1~600 seconds per step

Ramp-down rate: 10~250 C per second(<150 C)

Temperature range: 400~1200 C

Temperature repeatability: +/-3 C at 1150 C

Temperature uniformity: +/-3 C at 1150 C


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