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Gasonics PEP3510

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Gasonics PEP3510

  • 所属分类:去胶机系列

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/02/05
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详细介绍

Gasonics PEP3510

PEP3510配置:Main body set up for 8’’ wafer

SECS/GEM interface

2x Open cassette

Dual Blade Yaskawa Robot

Left/Right coolers

Left Module: PEP3510A/A(L)

Right Module: PEP3510A/A(R)

Quartz process kit

Standard Platen

MKS600 series Pressure controller

IBM Computer

Microwave Power supply: Astex(2000W)

2x Dry pumps


相关标签:去胶机系列,GasonicsPEP3510价格,GasonicsPEP3510批发

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