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Gasonics L3510

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Gasonics L3510

  • 所属分类:去胶机系列

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/02/05
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详细介绍

Gasonics L3510

L3510配置: Configured for 6’’ silicon wafer processing

Heated platen with reflector and bulb

UV Igniter

Microwave generator with pressure and temp control system

Automatic photoemission end-point detection 

Three gas inputs with MFC

Vacuum pump

High throughput and excellent uniformity


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