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Lam TCP 9600

Lam TCP 9600

  • 所属分类:等离子体刻蚀机Plasma etcher

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/06/16
  • 在线询价
详细介绍

Lam TCP 9600

Lam 9600 configuration information:

1.configured 8" wafer

2.TCP Etch source for metal etching

3.DSQ Module for resist strip

4.ESC with He cooling

5.Edwards STP-H1000C Turbo pump

6.AE RFG1250 RF generator

7.Classic software

8.Optical End point detection

9.Gas lines with Unit MFC

10.BCl3 200sccm

11.Cl2 100sccm

12.N2 20 sccm

13.Ar 100sccm

14.BCl3 50sccm

15.O2 500sccm

16.CF4 100sccm

17.O2 2L

18.M&W Chiller

19.3x Ebara A30 Dry pumps


相关标签:PlasmaetcherLamTCP9600price,LamTCP9600wholesale化学气相沉积,LamTCP9600价格,LamTCP9600批发

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