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Lam TCP 9600

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Lam TCP 9600

  • 所属分类:等离子体刻蚀机

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  • 发布日期:2018/02/05
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详细介绍

Lam TCP 9600

Lam 9600 配置信息:configured 8‘‘ wafer

TCP Etch source for metal etching

DSQ Module for resist strip

ESC with He cooling

Edwards STP-H1000C Turbo pump

AE RFG1250 RF generator

Classic software

Optical End point detection

Gas lines with Unit MFC

BCl3 200sccm

Cl2 100sccm

N2 20 sccm

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