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Lam rainbow 4420/4520/4720

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Lam rainbow 4420/4520/4720

  • 所属分类:等离子体刻蚀机

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  • 发布日期:2018/02/05
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详细介绍

Lam rainbow 4420/4520/4720

Lam4720配置: Configured for 6’’ silicon wafer processing

Classic software

Independent backside Helium

Monochrometer for end point detection

ENI OEM-650A RF Generator

Two M&W chillers

Two QDP-40 BOC dry pumps, one for chamber and one for loadlock

Gas Box configuration: as customer requested


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