名 称：苏州赛森电子科技有限公司
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P5000 配置： 1.Main body with 2 chambers
2.Control rack
3.RF rack with 3 ENI OEM-12B generator
4.ATMI UniChem 3200 TEOS cabinet
5.2x AMAT heat exchangers
6.1x Neslab HX-150 Heat exchanger
7.PLIS
8.Turbo pump with controller
9.cables
