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P5000

  • 所属分类:化学气相沉积chemical vapor deposition

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/06/16
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详细介绍

P5000

P5000 configuration information: 

1.Main body with 2 chambers

2.Control rack

3.RF rack with 3 ENI OEM-12B generator

4.ATMI UniChem 3200 TEOS cabinet

5.2x AMAT heat exchangers

6.1x Neslab HX-150 Heat exchanger

7.PLIS

8.Turbo pump with controller

9.cables


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